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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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電動XY夾頭，SPS-2600中的電動壓板，SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動，標準配置。Motorized theta是一種選擇。
基于伺服電機的直線光柵尺。
成本競爭力，非常快速，高效的解決方案
強烈推薦用于中等規模生產或其他吞吐量很重要的應用
型號 | SPS-12000-HS | SPS-2800-HS | SPS-2600-HS |
晶圓尺寸 | 高達300mm | 高達200mm | 高達100mm |
電機類型 | 伺服電機 | ||
顯微鏡 | 高品質立體聲變焦，工作距離可達200??mm，放大倍率范圍為3.5X至180X | ||
饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
系統尺寸 | 101CM寬x91CM深x 88CM高 | 122CM寬x122CM深x 92CM高 | 78CM寬x80CM深x 58CM高 |
