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邁可諾技術有限公司

主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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公司信息

人:
鄧經理
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4008800298
機:
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真:
址:
洪山區珞獅南路147號未來城A棟
編:
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www.mycro.net.cn
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http://www.grannyfreesex.com/st119375/
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[供應]Tergeo-小型等離子去膠機
Tergeo-小型等離子去膠機
貨物所在地:
北京北京市
產地:
美國
更新時間:
2024-12-12 09:11:19
有效期:
2024年12月12日--2025年6月14日
已獲點擊:
92
【簡單介紹】美國Tergeo系列臺式等離子去膠機專為實驗室,研發和小規模生產部門提供性價比高的小型等離子去膠設備,等離子強度探測器實時定量檢測等離子狀態。
【詳細說明】

一、設備用途和特點
1、用途:生物化工和半導體材料科研領域實驗室的全套解決方案,*解決材料的表面去膠、清洗、改性、活化、PDMS微流控芯片鍵合等工藝過程中的問題。

2、特點:
(1)外觀整潔、美觀,安全防護,節省空間的使用面積;
(2)材質易于清洗和維護,設備結構布局合理,用戶操作、使用、維修方便;
(3)采用成熟、可靠的系統結構方式,確保設備工作的可靠性;
(4)高性能、低故障率、長使用壽命、易操作維修、造型美觀、售后服務完備;
(5)7英寸觸摸屏控制界面,全自動操作;
(6)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

二、技術參數
1、操作控制系統
1.1 操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,直觀易懂的用戶界面; 
1.2 程序控制:可編程,總共有20個配方;
1.3 配方里面可以控制射頻電源功率,射頻脈沖占空比,2路氣體的流量;
1.4 智能系統自檢功能實時監測各個部件的狀態。監測用戶的操作模式,并且根據用戶的操作模式或者碰到的問題實時提供建議。
1.5 可以通過外部電腦操作控制系統。可以要求廠家遠程登陸來提供在線診斷和服務。可以存儲系統操作和狀態日志文件。

2、樣品腔體
2.1 腔體材質:圓柱形石英玻璃艙;
2.2 前觀測窗:前方開口,石英玻璃可視窗口,可觀測內腔等離子狀態,并帶有防真空泄漏和避免高壓的聯鎖裝置,有效保護操作的安全性;

3、射頻電源 
3.1 射頻頻率:13.56MHz;

4.等離子源設計
4.1 等離子強度探測器實時測量等離子源強度;
4.2 外置電極設計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染;
4.3 雙等離子源:浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻;遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化(可選配)。
4.4 遠程模式:同時具有直接模式和遠程模式(可選配)。

5.等離子診斷功能
5.1*的定量等離子體強度傳感器引導用戶對不同樣品調整配方。
5.2根據等離子強度傳感器反饋而設計的智能等離子啟輝和調諧功能,大大提高工作的射頻功率范圍,腔體氣壓范圍。

6、氣體控制 
6.1 氣路控制:二路MFC。 



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