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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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特點(diǎn)：
· 高壓或霧化噴霧清洗
· 擁有觸摸屏界面
· 可重復(fù)過程的快速啟動按鈕
· 自動透明蓋
· CDA 和 N2 輸入傳感器
WCS-200專為切割后的晶圓清洗而設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)有兩種配置：最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。
晶圓清洗工藝通過觸摸屏進(jìn)行設(shè)置。 用戶可以通過4個(gè)步驟對多達(dá)50個(gè)程序段進(jìn)行編程：
· 沖洗
· 吹掃
· N2干燥
· 旋轉(zhuǎn)
每個(gè)步驟可設(shè)置不同的速度和時(shí)間參數(shù)。
技術(shù)參數(shù)：
晶圓最大尺寸 | 8"/12"mm |
晶圓清洗參數(shù)： · 速度; · 加速度； · 清洗時(shí)間； · 沖洗時(shí)間； · N2干燥時(shí)間； | |
轉(zhuǎn)速范圍 | 500-3000 rpm |
電源電壓 | 230VAC 50Hz 5A |
CDA供給壓力 | 0.5-0.6 MPa |
CDA 最大消耗量 | 3 m3/h |
CDA 連接管 | 6 mm |
去離子水 供給壓力 | 0.2-0.3 MPa |
去離子水最大消耗量 | 100 L/h |
去離子水連接管 | 6 mm |
真空供應(yīng) | 0.02-0.04 MPa |
真空連接管 | 6 mm |
排氣連接管 | 50 mm |
尺寸 | 900x780x1280 mm |
重量 | 110 kg |
