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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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Femto 等離子系統可以組合成不同的派生型，例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Femto 等離子系統組合使用的最常見選裝件的概覽。Femto 等離子系統主要應用于以下領域：
分析、考古、汽車、研究和開發部門、半導體技術、小批量生產、塑料技術、醫療技術、微系統技術、傳感技術、滅菌、紡織技術
1.基本裝備
根據具體組件/選裝件，外殼會有所不同
腔室容積：根據具體版本，分為 1.9 - 6 升
供電電源：臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位
2.真空腔室
圓形不銹鋼，帶蓋（約 ∅ 100 mm，長 278 mm 或長 600 mm）
矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 103 x 深 285 x 高 103）
矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ∅ 103 mm x 103 mm，長 280 mm 或長 600 mm）
圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm）
圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm
3.裝載件：
產品支架（選項：水冷型），石英玻璃舟皿，粉末轉鼓 ，散裝件轉鼓 ，鋁板，不銹鋼板，硼硅玻璃，石英玻璃
4.電機：單層或多層，RIE
5.控制系統
半自動型
Basic PC 控制系統 (Microsoft Windows CE)
Full PC 控制系統 (Windows 10 IoT)
6.壓力測量：Pirani，電容式壓力計（適用于腐蝕性氣體版本）
7.計時器：數字
8.發生器
頻率：
40 kHz：功率 0 - 100 W；0 - 1000 W
100 kHz：功率 500 W
80 kHz：功率 1000 W
13.56 MHz： 功率 0 - 200 W
2.45 GHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W
所有發生器均為 0 - 100% 無級可調型
9.真空泵：不同規格，來自不同制造商（根據需要配備活性炭過濾器）
10.其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項。
