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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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Femto 等離子系統(tǒng)可以組合成不同的派生型，例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Femto 等離子系統(tǒng)組合使用的最常見選裝件的概覽。Femto 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
分析、考古、汽車、研究和開發(fā)部門、半導(dǎo)體技術(shù)、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)、傳感技術(shù)、滅菌、紡織技術(shù)
1.基本裝備
根據(jù)具體組件/選裝件，外殼會(huì)有所不同
腔室容積：根據(jù)具體版本，分為 1.9 - 6 升
供電電源：臺(tái)式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位
2.真空腔室
圓形不銹鋼，帶蓋（約 ∅ 100 mm，長 278 mm 或長 600 mm）
矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 103 x 深 285 x 高 103）
矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ∅ 103 mm x 103 mm，長 280 mm 或長 600 mm）
圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm）
圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 95 mm，長 280 mm 或長 600 mm
3.裝載件：
產(chǎn)品支架（選項(xiàng)：水冷型），石英玻璃舟皿，粉末轉(zhuǎn)鼓 ，散裝件轉(zhuǎn)鼓 ，鋁板，不銹鋼板，硼硅玻璃，石英玻璃
4.電機(jī)：單層或多層，RIE
5.控制系統(tǒng)
半自動(dòng)型
Basic PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)
Full PC 控制系統(tǒng) (Windows 10 IoT)
6.壓力測(cè)量：Pirani，電容式壓力計(jì)（適用于腐蝕性氣體版本）
7.計(jì)時(shí)器：數(shù)字
8.發(fā)生器
頻率：
40 kHz：功率 0 - 100 W；0 - 1000 W
100 kHz：功率 500 W
80 kHz：功率 1000 W
13.56 MHz： 功率 0 - 200 W
2.45 GHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W
所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級(jí)可調(diào)型
9.真空泵：不同規(guī)格，來自不同制造商（根據(jù)需要配備活性炭過濾器）
10.其他選項(xiàng)
備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測(cè)試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場(chǎng)安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。
