 |
邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
12
聯系電話
|
邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
聯系電話
德國OEG接觸角測量儀 HL 200專用于半導體表面特性分析，搭載±0.1°超精測量模塊與智能滴液系統（最小液滴0.2μl），1秒完成晶圓潤濕性檢測。360°全向掃描結合200mm真空載臺，無損定位超薄晶圓，精準調控表面自由能，提升光刻膠結合力，降低缺陷率超30%。適配光刻膠開發、拋光液驗證等場景，確保5nm及更先進節點良率。
高精度晶圓表面能分析系統：HL 200 技術全覽
核心功能定位
專為半導體工藝研發的接觸角測量系統，通過±0.1°級接觸角精度與0.2μl微量液滴控制技術，實現晶圓表面自由能（SFE）的動態解析，直接優化光刻膠附著力、旋涂均勻性及缺陷控制（<1μm線寬良率提升超30%）。
德國OEG接觸角測量儀 硬件架構亮點
精密機械系統：封閉式防塵結構（400×300×300mm），集成特氟龍涂層晶圓臺（兼容200mm直徑），支持真空吸附與360°旋轉定位（x軸行程100mm）
光學成像模塊：500萬像素USB攝像頭+固定焦距物鏡，搭配7級可調LED環形光源，0.01°級角度分辨率
滴液控制系統：5種配置可選（含雙自動滴液模式），手動三軸微調（x/y/z軸精度±0.1mm），最小液滴體積0.2μl（精度0.1μl）
測量效能突破
1秒快速檢測：實時高清視頻捕捉液滴形態，自動計算接觸角并生成能值曲線
數據可溯性：Windows系統軟件同步顯示三維潤濕分析圖與歷史數據對比，支持異常波動預警
技術參數集
精度指標：分辨率0.01° / 重復性±0.1° / 絕對精度±0.1°
兼容規格：玻璃注射器&一次性魯爾鎖針頭 / ISO 5級潔凈環境適配
工藝驗證：成功應用于12英寸晶圓產線，顯影缺陷率降低37%（45nm節點案例）
超微量分析：0.2μl液滴匹配微米級結構表征需求，避免傳統μl級液滴對納米圖案的過度浸潤干擾；
納米級靈敏度：0.01°分辨率可檢測單分子層吸附變化，助力原子層沉積（ALD）工藝的界面調控；
工業級可靠性：封閉式防塵結構符合ISO 5級潔凈度要求，支持24/7連續運行，年故障率＜0.1%。
