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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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勻膠機(英文名：Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜 型號：WS-650Mz-8NPP 一、產品概述： 二、勻膠機工作原理： 三、勻膠機主要性能指標： 2、Wafer芯片尺寸：10-200mm直徑的材料，方片178x178mm，小于10mm提供3mm的轉接托盤）； 3、轉動速度：0-12,000rpm， 4、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空載）； 5、馬達旋涂轉速：穩定性能誤差 < ±1%； 6、轉速調節精度：<0.2rpm，重復性< 0.2rpm； 7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度； 8、勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方； 9、高精度數碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006%。 10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態； 11、分辨率：分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！] |
13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；
14、*水平測試儀； 15、兩袋密封圈； 16、廢液接收單元； |
可選配置：
IND構造為濕站系統設計，帶遠程控制；
OND構造為手套箱系統設計，帶遠程控制；
UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒，
EBR(Edge Bead Remover)：晶圓去邊，機械裝置；
