 |
邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
12
聯系電話
|
邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
聯系電話
溫度均勻度≤1%，處理的zui大尺寸可以達到300mm，zui大厚度可以支持到11mm，zui高溫度可以達到1200攝氏度，處理過程可以在真空環境或者惰性氣體的環境中執行，做多可支持4路進氣，可以用到的氣體包含N2，O2，N2H2，Ar和H2。
基于PID處理控制器的Eurotherm可以存儲20套程序，每套程序可以支持高達100個步驟的設定，帶USB2.0的接口。
包含UniSoft 軟件，與微軟Windows操作系統兼容。通過該軟件，通過鏈接電腦可以非常方便地實現程序編輯以及數據記錄。
技術參數：
也可以用于污染物處理；
基片從上面載入/取出；
zui大可支持的尺寸：直徑為300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片；
zui高溫度高達1000攝氏度；
升溫速率為40K/sec；
降溫速率分段控制：從1000℃到400℃，降溫速率優于200K/sec。從400℃到100℃zui大降溫速率控制在30K/sec；
