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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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我們致力于氣體等離子處理，即讓氣體在常溫下，無熱相變下改變。這些氣體可以是惰性的，也可以是起反應(yīng)的。在反應(yīng)性氣體的情況下，利用動(dòng)量轉(zhuǎn)移處理以及氣體反應(yīng)的化學(xué)性質(zhì)改變材料的特性。
石英圓柱體等離子系統(tǒng)Quartz Barrel Plasma Systems
SCE104等離子去膠機(jī)
4" diameter x 8" long
102毫米直徑 x 203毫米長腔體
外形尺寸26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE 106等離子去膠機(jī)
6" diameter x 8"long
152毫米直徑x 203毫米長腔體
外形尺寸 26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE108等離子去膠機(jī)
8" diameter x 8"long
203毫米直徑x203毫米長腔體
外形尺寸 26"H x 23"W x 30"D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE110等離子去膠機(jī)
10" dia x 18" L long
254毫米直徑x 457毫米長腔體
外形尺寸36"H x 21"W x 30"D 914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D
SCE 115等離子去膠機(jī)
15" dia x 18" L long
381毫米直徑x 457毫米長腔體
外形尺寸22" W x 36" H x 27" D 559毫米x914毫米H x 686毫米 D
SCE150等離子去膠機(jī)
10" dia x 18"L 2 4毫米直徑x 457毫米長腔體
SCE 604等離子去膠機(jī)
Four (4) chambers 4" x 8" diameter Quartz
4個(gè)腔體102毫米x203毫米直徑石英腔體
控制系統(tǒng)Control System
• PLC - "Touch-Panel" operation
PLC觸摸面板操作
• Digital count down timer (hrs, min, sec)
數(shù)字倒計(jì)時(shí)定時(shí)器（小時(shí)，分，秒）
• Digital On-Screen vacuum display
數(shù)碼屏幕真空顯示器
• Gas flow with needle valve control
氣體流量針形閥控制
• Manual tuning standard
手動(dòng)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)
• Optional: Automatic RF tuning for load match
• 可選的：自動(dòng)射頻調(diào)整與負(fù)載匹配
反應(yīng)腔體Reactor Chamber
• 4" diameter x 8" long quartz chamber
• 4英寸直徑x8英寸長的石英艙體
• RF shielded
• 射頻屏蔽
• Front load
• 前負(fù)荷
尺寸Dimensions
• 26" H x 23" W x 30" D
• 26英寸（H）x23英寸（W）x30英寸（D）
• 275 lbs Crated weight
• 275磅包裝重量。
射頻功率源RF Power Source
• 0-150 Watt RF 13.56 MHz supply
• 0-150 W射頻13.56兆赫茲供應(yīng)
• Forward and reflected power readings
• 正向和反射功率讀數(shù)
• Low frequency optional
• 低頻選項(xiàng)
真空系統(tǒng)Vacuum System
• 3.8 CFM Standard service pump
• 3.8 CFM 標(biāo)準(zhǔn)的服務(wù)泵
• 1 Phase 50/60 120/208 VAC
• 1 相 50/60 120/208 VAC
• Package with all interconnecting hardware
• 包裝包含所有相關(guān)硬件
• 選項(xiàng)Optional
• Oxygen service. Class "B" Preparation
• 氧氣服務(wù)，B類備選
