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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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技術(shù)參數(shù)：
緊湊的臺(tái)式設(shè)備、符合CE 安全標(biāo)準(zhǔn)
兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)(0.104 scfh & 0.22 scfh)
真空壓力傳感器..............................熱電偶真空計(jì)
壓力表.............................................數(shù)字壓力
壓力范圍..........................................1 -1999 毫托
氣體通路..........................................可同時(shí)通2路氣體
流量計(jì)1 ..........................................參考刻度值65mm（4~49 mL/min）
49 毫升/分鐘的zui大流量 大氣（0 PSIG）*
流量計(jì)2 ...........................................參考刻度值65mm（10~104 mL/min）
104 毫升/分鐘的zui大流量 大氣（0 PSIG）*
流量計(jì)精度....................................... 滿刻度的± 2％
流量計(jì)zui大工作壓力/溫度................ 200 PSIG / 250℉（121℃）
不銹鋼氣源輸入接口......................... dia.6mm
不銹鋼氣源輸出接口......................... dia.6mm
常用工作氣體：空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等
